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苏州极紫外半导体有限公司提供了一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置，涉及极紫外光刻光源技术领域，旨在解决陶瓷毛细管放电时，产生电极碎屑、管壁碎屑，存在光噪声的问题，采用的技术方案是，包括毛细管和电极，毛细管的两端还设有电极，毛细管外部还套设有放电室，放电室上还设有收集孔和观察孔，毛细管与供气系统连通。 对此提高了极紫外光的输出功率，较低的放电重复频率即可满足极紫外光刻生产的要求;极大减少了电极碎屑、管壁碎屑和光源杂质，有利于极紫外光的输出;采用气动系统供气，提高了极紫外光的纯净度;延长了毛细管的长度，并采用侧面收集方式，相比于传统的端面收集，收集面大大提高，极紫外光的收集效率也增加。
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